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M45系列 单室MOCVD
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M45系列 单室MOCVD

本设备由MOCVD沉积室，工作台，特气柜组成。可用MOCVD方式沉积ZnO。采用由下向上喷淋方式。气盒优化，专利设计。

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本设备由MOCVD沉积室，工作台，特气柜组成。可用MOCVD方式沉积ZnO。采用由下向上喷淋方式。气盒优化，专利设计。